在線膜厚透射光譜儀 BTR-1介紹

施加到薄膜上的薄膜的厚度是通過鹵素光的光學(xué)干涉法測量的。 同時(shí)進(jìn)行透光率測量，可自動(dòng)管理膜厚數(shù)據(jù)，輸出異常值的外部信號(hào)。
薄膜生產(chǎn)線的光譜檢測系統(tǒng)，可以與控制面板和操作員操作部分的距離相距幾十米，同時(shí)控制面積傳感器和編碼器，實(shí)現(xiàn)超越光譜測量概念的新型薄膜檢測。

在線膜厚透射光譜儀概述

可測量樣本示例

• 硅、氧化硅、氮化硅

• 砷化鎵

• 二氧化鈦

• 光刻 膠

• 染料膜、油膜和彩色濾膜

• 影片

• 涂料和粘合劑

• 紫外光固化樹脂

• 金屬氧化膜、介電膜

• 聚合體

• 空氣層

• 光盤、中藥、光盤